FALCO
特許取得ハイパースペクトルカメラ厚さ測定システム
サンプル全体を俯瞰して撮影し、厚さの面内分布を測定する光学式測定システム。
SOIシリコンウェーハの出荷検査やパターン付きウェーハのダイシング前検査工程に導入実績。
FALCOはライン光源とハイパースペクトルカメラを用いて、サンプル全面の厚さ分布を測定するシステムです。9点測定など少ない測定で足りる場合は従来型のポイント測定で十分ですが、1.0x1.0mmや5.0x5.0mmメッシュのような厚さの面分布を求める場合はFALCOが最適解の一つになります。
高速で測定でき、SOIシリコンウェーハの出荷検査やパターン付きウェーハのダイシング前検査工程に導入されています。LSI-TGやWSI-TGと同様に非接触・非破壊であることが共通の特徴で、光を測定媒体として使用することでサンプルへの影響が少ないです。
FALCOはフープローダや搬送ロボットと組み合わせて大規模なシステムとして納品されることが多いです。出荷検査など大量のサンプルを処理する用途に最適です。
本技術は特許を取得しています
特長
面内分布測定
サンプル全体を俯瞰撮影し、厚さの面内分布を一度に取得。
高速測定
短時間で全面の厚さ分布を測定でき、スループット向上に貢献。
細密メッシュ対応
1.0x1.0mmや5.0x5.0mmメッシュでの面分布測定が可能。
SOIウェーハ検査
SOIシリコンウェーハの出荷検査に最適化されています。
大規模システム対応
フープローダや搬送ロボットと組み合わせた自動化システム構築。
非接触・非破壊
光を使用するため、サンプルにダメージを与えません。
ポイント測定との違い
FALCO（面測定）
- サンプル全体を一度に測定
- 詳細な面内分布を取得
- 高速測定で高スループット
- 出荷検査に最適
ポイント測定（従来型）
- 指定ポイントのみ測定
- 9点測定など限定的
- 測定点の移動が必要
- 時間がかかる
FALCOが最適なケース
9点測定など少ない測定で足りる場合は従来型のポイント測定で十分です。しかし、1.0x1.0mmや5.0x5.0mmメッシュのような厚さの面分布を求める場合、FALCOは一度の測定で全面の分布を取得できるため、大幅な時間短縮とデータの充実を実現します。
主な応用例
SOIウェーハ出荷検査
SOIシリコンウェーハの全面品質検査
ダイシング前検査
パターン付きウェーハのダイシング前検査
厚さ面内分布測定
詳細な厚さマッピングデータの取得
大量サンプル検査
フープローダと組み合わせた自動検査
品質管理システム
全数検査や抜き取り検査システム
研究開発用途
プロセス開発での詳細解析
大規模システムへの対応
FALCOはフープローダや搬送ロボットと組み合わせて大規模なシステムとして納品されることが多いです。自動搬送システムとの連携により、無人での連続測定が可能になります。
搬送システム
フープローダ・ロボット
FALCO測定
高速面分布測定
データ管理
品質管理システム連携