製品情報

光学式測定システムを中心とした製品ラインナップ

測定システム

非接触・非破壊の光学式厚さ測定システム

LSI-TG

波長可変レーザ厚さ測定システム

1m以上離れた対象をリアルタイムに測定。生産ラインへの組み込みに最適。

非接触・非破壊
遠距離測定対応
毎秒数千回の高速測定
ハイドープSi対応
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WSI-TG

白色光源厚さ測定システム

コンパクトで近距離測定に最適。卓上・携帯測定にも対応。

コンパクト設計
近距離測定
広い波長範囲
薄膜測定対応
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FALCO

特許取得

ハイパースペクトルカメラ厚さ測定システム

サンプル全体の厚さ面内分布を測定。SOIウェーハ出荷検査に導入実績。

面内分布測定
高速測定
SOIウェーハ検査
大規模システム対応
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光源

分光測定・検査装置向け光源ユニット

LSU-C01S04

光源ユニット

手のひらサイズの筐体に高性能LEDと制御基板を搭載。低発熱で安定した光源。

コンパクト筐体
高性能LED
低発熱設計
安定光源出力
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ソフトウェア

光学測定をさらに高度化する解析ソフトウェア

TAMTEC PEAK ANALYZER

分光ピーク・半値幅(FWHM)解析ソフトウェア

USB接続分光器向けの専門解析ソフト。リアルタイムFWHM算出・複数ピーク自動検出に対応。

リアルタイムFWHM表示
複数ピーク自動検出
CSV保存
ガウス / ローレンツフィッティング
Pseudo-Voigtフィッティング
シュタルク幅測定
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測定デモのご案内

多聞では、測定デモの要望にも可能な限り対応しています。
比較的小型のWSI-TGベースの測定環境は貸出可能です。
LSI-TGとFALCOは大型システムのため、サンプルを持参いただくか、お貸出いただいての測定対応となります。

デモ・測定のお問い合わせ