製品情報

波長可変レーザ厚さ測定システム

1m以上離れた対象をリアルタイムに測定。生産ラインへの組み込みに最適。

白色光源厚さ測定システム

コンパクトで近距離測定に最適。卓上・携帯測定にも対応。

ハイパースペクトルカメラ厚さ測定システム

サンプル全体の厚さ面内分布を測定。SOIウェーハ出荷検査に導入実績。