測定システム

非接触・非破壊の光学式厚さ測定システム。
生産ライン組み込みから研究開発まで、用途に合わせた3機種を提供しています。

LSI-TG

波長可変レーザ厚さ測定システム

波長可変レーザを使用した非接触・非破壊の厚さ測定システム。

非接触・非破壊での測定
1m以上離れた対象を測定
生産ラインに最適
最厚数mm(光学厚さ換算)の層を測定可能
詳しく見る

WSI-TG

白色光源厚さ測定システム

白色光源と分光器を使用したポイント分光による非接触・非破壊での厚さ測定システム。

コンパクト設計
近距離測定
卓上・携帯測定対応
広い波長範囲
詳しく見る

FALCO

特許取得

ハイパースペクトルカメラ厚さ測定システム

サンプル全体を俯瞰して撮影し、厚さの面内分布を測定する光学式測定システム。

面内分布測定
高速測定
細密メッシュ対応
SOIウェーハ検査
詳しく見る

測定システムのご相談

デモ機の貸し出しや測定サンプルのお預かりも対応しています。

お問い合わせ