製品情報
光学式測定システムを中心とした製品ラインナップ
LSI-TG
波長可変レーザ厚さ測定システム
波長可変レーザを使用した非接触・非破壊の厚さ測定システム。1m以上離れた対象を測定可能で、生産ラインへの組み込みに最適です。
主な特長
非接触・非破壊での測定
1m以上離れた対象を測定
生産ラインに最適
最厚数mm(光学厚さ換算)の層を測定可能
毎秒数千回の高速測定
Siウェーハではドープ濃度の高いサンプルにも対応
応用例
シリコンウェーハの生産管理研磨・塗布工程の制御ハイドープサンプルの測定厚物サンプルの測定
WSI-TG
白色光源厚さ測定システム
白色光源と分光器を使用したポイント分光による厚さ測定システム。コンパクトで近距離測定に適しており、卓上測定器や携帯測定にも対応。
主な特長
コンパクト設計
近距離からの測定が得意
装置組み込みや卓上測定に適応
非接触・非破壊測定
リアルタイム測定
応用例
薄膜測定卓上測定携帯測定生産ラインへの組み込み
FALCO
ハイパースペクトルカメラ厚さ測定システム
サンプル全体を俯瞰して撮影し、厚さの面内分布を測定する光学式測定システム。SOIシリコンウェーハの出荷検査やパターン付きウェーハのダイシング前検査工程に導入実績。
特許取得済
主な特長
面内分布の測定
高速測定
1.0x1.0mmや5.0x5.0mmメッシュの厚さ分布
非接触・非破壊
SOIウェーハ検査に最適
フープローダや搬送ロボットと組み合わせ可能
応用例
SOIシリコンウェーハの出荷検査パターン付きウェーハのダイシング前検査厚さ面内分布測定大規模検査システム
LSU-C01S04
光源ユニット
手のひらサイズの筐体に高性能LEDと制御基板を搭載した光源ユニット。30年以上の分光分析経験を活かし開発したパッケージ製品第一弾。
主な特長
コンパクト筐体
高性能LED搭載
低発熱設計
安定した光源出力
制御基板内蔵
手軽に導入可能
応用例
分光測定用光源検査装置への組み込み研究開発用途教育用途
測定デモのご案内
多聞では、測定デモの要望にも可能な限り対応しています。
比較的小型のWSI-TGベースの測定環境は貸出可能です。
LSI-TGとFALCOは大型システムのため、サンプルを持参いただくか、
お貸出いただいての測定対応となります。