製品紹介

多聞の主力製品を紹介します。
LSI-TG/WSI-TGとFALCOシステムは光学式厚さ測定システムです。
LSI-TGは波長可変レーザ、WSI-TGは白色光源と分光器を使用したポイント分光による厚さ測定システムです。
リアルタイムで厚さの変化を測定し、生産ラインに組み込まれることが多いです。
一方、FALCOはハイパースペクトルカメラでサンプル全体を俯瞰して厚さの面内分布を測定するシステムです。
高速で測定でき、SOIシリコンウェーハの出荷検査やパターン付きウェーハのダイシング前検査工程に導入されています。
非接触・非破壊であることが共通の特徴で、光を測定媒体として使用することでサンプルへの影響が少ないです。
各システムの相違点としては、LSI-TGは1m以上離れて測定し、光軸調整の治具がやや大きくなる傾向があります。
レーザの強い透過力と高い波長分解能で、厚いサンプルの測定が得意です。
WSI-TGは近距離からの測定が得意で、システム全体がコンパクトです。
装置組み込みのほか、卓上測定器や携帯測定にも適しています。
使用できる波長幅が広く、薄いサンプルの測定も可能です。
FALCOはフープローダや搬送ロボットと組み合わせて大規模なシステムとして納品されることが多いです。

多聞では、測定デモの要望にも可能な限り対応しています。
比較的小型のWSI-TGベースの測定環境は貸出可能です。
LSI-TGとFALCOは大型システムのため、サンプルを持参いただくか、お貸出いただいての測定対応となります。
デモスペースはオフィスに併設された簡易クリーンブースで行いますので、納品システムと同等のクリーン度はありません。
デモを希望される方は、これらの制限をご理解いただけますようお願い申しあげます。

カスタマイズ案件、工場での生産・出荷検査を主軸に長年分光分析を手がけてきた株式会社多聞が、同分野での25年以上の経験を活かし、 納品用に開発した部材をベースにパッケージ製品第一弾として光源ユニットの提供を開始いたしました。