WSI-TG
白色光源厚さ測定システム
白色光源と分光器を使用したポイント分光による非接触・非破壊での厚さ測定システム。
コンパクトで近距離測定に適しており、卓上測定器や携帯測定にも対応。
WSI-TGは白色光源と分光器を使用したポイント分光による厚さ測定システムです。 リアルタイムで厚さの変化を測定し、生産ラインに組み込まれることが多いです。
LSI-TGと同様に非接触・非破壊での測定が可能で、光を測定媒体として使用することでサンプルへの影響が少ないです。 近距離からの測定が得意で、システム全体がコンパクトです。 装置組み込みのほか、卓上測定器や携帯測定にも適しています。
LSI-TGに比べて測定波長範囲が広いため、Si換算で10μm以下の薄膜測定にも対応できます。 塗布層などの薄い対象を測定する場合に最適です。
特長
コンパクト設計
システム全体がコンパクトで設置スペースを取りません。
近距離測定
近距離からの測定が得意で、密閉環境や狭い場所でも使用可能。
卓上・携帯測定対応
卓上測定器や携帯測定機としても利用できる柔軟性。
広い波長範囲
薄膜から厚膜まで幅広く対応。
薄膜測定可能
Si換算で10μm以下の薄いサンプルも測定可能。
非接触・非破壊
光を使用するため、サンプルにダメージを与えません。
LSI-TGとの相違点
測定距離とシステムサイズ
WSI-TG
- •近距離からの測定が得意
- •システム全体がコンパクト
- •卓上測定器や携帯測定に適応
LSI-TG
- •1m以上離れて測定
- •光軸調整の治具がやや大きい
- •生産機への組み込みが主
測定対象と得意分野
WSI-TG
- •広い測定波長幅で薄膜測定も可能
- •Si換算10μm以下にも対応
- •塗布層などの薄い対象に最適
LSI-TG
- •強い透過力で厚物測定が得意
- •高い波長分解能
- •Si換算10μm以上が対象
主な応用例
薄膜測定
塗布層の厚さ管理
卓上での品質検査
研究開発用途での測定
フィールドでの携帯測定
生産ラインへの組み込み
多点測定システム
コンパクトな検査装置